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Estudio de pasivación de sustratos de c-Si y texturizado por plasma para aplicaciones en celdas solares de heterounión
DULCE GUADALUPE MURIAS FIGUEROA
Acceso Abierto
Atribución-NoComercial-SinDerivadas
Plasma Texturing
Amorphous Silicon
Passivation
En esta tesis, se reporta la optimización en la formación de estructuras tipo piramidales en la superficie de sustratos de silicio cristalino (c-Si), obtenidas por procesos de texturizado de plasma de SF6/O2. Las obleas de c-Si texturizadas tienen valores de reflectancia difusa muy bajas, de hasta 2.9%. Estos valores son mucho más bajos que los reportados utilizando procesos de texturizado húmedos basados en soluciones de KOH y NaOH, los que se encuentran en un rango de 12-14%. También se hace énfasis en la dependencia que la uniformidad y forma del texturizado tienen con la temperatura del substrato y cómo éste parámetro contribuye a obtener superficies altamente texturizadas. Siendo esta aportación la más importante de este trabajo, ya que no se había reportado en la literatura.
Instituto Nacional de Astrofísica, Óptica y Electrónica
24-06-2016
Tesis de doctorado
Español
Público en general
Murias-Figueroa D. G.
TECNOLOGÍA DE MATERIALES
Aparece en las colecciones: Doctorado en Electrónica

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