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http://inaoe.repositorioinstitucional.mx/jspui/handle/1009/153| Estudio de las propiedades termo mecánicas del Polisilicio para su aplicación en sensores inteligentes | |
| FERNANDO JULIAN QUIÑONES NOVELO | |
| WILFRIDO CALLEJA ARRIAGA FRANCISCO JAVIER DE LA HIDALGA WADE | |
| Acceso Abierto | |
| Atribución-NoComercial-SinDerivadas | |
| MEMS Microcantilevers Micromechanical devices Microsensors Young's modulus | |
| Con el propósito de fabricar Sistemas Micro Electro Mecánicos (MEMS, por sus siglas en inglés) de alta calidad y de alto rendimiento, es de suma importancia controlar y cuantificar, las principales propiedades físicas de los materiales que intervienen en éstos dispositivos. En general, cualquier tipo de micro actuador o sensor aprovecha un efecto físico para funcionar. Durante el diseño de un dispositivo MEMS, lo que se busca es optimizar el desempeño del sensor/actuador; maximizando los efectos físicos que aprovecha dicha estructura. Los efectos físicos comúnmente utilizados son: Efecto electrostático, magnético, electro-térmico, piezoeléctrico y piezoresistivo. A su vez, estos efectos físicos, son consecuencia de las propiedades físicas del material; como por ejemplo: la resistividad eléctrica (ρe), coeficiente de expansión térmica lineal (CTE), conductividad térmica (κ), calor especifico (Cp), módulo de elasticidad (E) y la densidad de material(ρ). La presente tesis presenta el diseño y el proceso de fabricación del Chip llamado PolyMEMS VII; que permite medir las propiedades termo-mecánicas en películas de Polysilicio. Se propone un esquema de medición confiable, sencillo y de bajo costo para la caracterización mecánica. Así mismo se reporta la caracterización mecánica de las siguientes propiedades: Módulo de Young (E), esfuerzo residual de tensión-compresión mecánica (±σ), gradiente de esfuerzo residual mecánico (±Δε). | |
| Instituto Nacional de Astrofísica, Óptica y Electrónica | |
| 2014-06 | |
| Tesis de doctorado | |
| Español | |
| Estudiantes Investigadores Público en general | |
| Quiñones-Novelo F.J. | |
| ELECTRÓNICA | |
| Versión aceptada | |
| acceptedVersion - Versión aceptada | |
| Aparece en las colecciones: | Doctorado en Electrónica |
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