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BTI phenomenon analysis through gate oxide characterization
ALEJANDRO CAMPOS CRUZ
GUILLERMO ESPINOSA FLORES VERDAD
Acceso Abierto
Atribución-NoComercial-SinDerivadas
BTI
Aging
Degradation
Gate stack
SiON
Gate oxide
Gate rust
Characterization
Mhy degradation phenomena can no longer be ignored? Complementary Metal-Oxide-Semiconductor (CMOS) technology's continuos evolution has made possible the inclusion of billions of transistors into one silicon's dice; such powess alows designer a chance to create more complex and complete electronics circuits . However, this evolution also translates a increased, both transverse and logitudinal electric fields within the Metal-Oxide- Semiconductor Field-Effect Transistor (MOSFET) device, since the voltage has not consistently been scaled down over different technology nodes. Intense electric fields are the main reason for reliability degradation increasing, which gives channel carriers enough energy to tunnel through gate insulator later to silicon's conduction band, causing bond-breaking near the drain region and also at silicon/oxide interface. Such tunneling phenomenon translates as a change in silicon's atomic structure, corrent-voltage (I-V), and voltage-capacitance (C-V) parameters for MOS devices.
La continua evaluación de la tecnología complementaria 'Metal-Oxide-Semiconductor' (CMOS) ha hecho posible la inclusión de millones de transistores en un dado de silicio; tal avance le permite diseñadores de circuitos integrados, la oportunidad de crear circuitos electrónicos más complejos y completos. Sin embargo, esta evaluación también se puede traducir en aumento en los campos eléctricos transversales y longitudinales dentro de los dispositivos de transistor de efecto de campo metal-óxido-semiconductor (MOSFET), ya que el voltaje no ha sido reducido sistemáticamente para los diferentes nodos tecnológicos.
Instituto Nacional de Astrofísica, Óptica y Electrónica
2020-08
Tesis de doctorado
Inglés
Estudiantes
Investigadores
Público en general
Campos Cruz, A., (2020). BTI phenomenon analysis through gate oxide characterization, Tesis de Doctorado, Instituto Nacional de Astrofísica, Óptica y Electrónica
ELECTRÓNICA
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