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http://inaoe.repositorioinstitucional.mx/jspui/handle/1009/264| Desarrollo de micro-bolómetros no enfriados basados en Silicio y Germanio Polimorfo | |
| RICARDO JIMENEZ ZAVALA | |
| MARIO MORENO MORENO ALFONSO TORRES JACOME | |
| Acceso Abierto | |
| Atribución-NoComercial-SinDerivadas | |
| Bolometer Silicon-germanium alloys Plasma chemical vapour deposition | |
| Los sistemas de detección infrarroja son una tecnología clave en diversas aplicaciones civiles y militares, especialmente en rastreo de objetivos, visión nocturna, mantenimiento preventivo, etc. A diferencia de los detectores infrarrojos de fotones que requieren costosos dispositivos de enfriamiento, los sistemas basados en microbolómetros pueden operar a temperatura ambiente. Esta característica les brinda ventajas como un menor consumo de potencia, peso reducido y volumen que finalmente resulta en un equipo de bajo costo. En este trabajo se han fabricado y caracterizado micro-bolómetros con área de 50x50 μm2. Se utilizaron películas termo-sensoras basadas en germanio polimorfo, silicio polimorfo y sus aleaciones en estado polimorfo. El proceso de fabricación fue realizado en el laboratorio de microelectrónica y el laboratorio de innovación en MEMS (LIMEMS) del INAOE. Se implementaron 16 diseños distintos de micro-bolómetros tipo puente con el fin de evaluar el desempeño de los sensores bajo las variaciones geométricas y la estabilidad mecánica al final del proceso de fabricación. Las películas termo-sensoras y estructurales fueron preparadas por medio de la técnica Low Frequency Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (LF-PECVD) a 200 °C, lo cual permite obtener una total compatibilidad con un post-proceso CMOS. Se emplearon 8 películas termosensoras con un elevado Coeficiente Térmico de Resistencia (TCR), que resultaron en sensores con una detectividad en el rango de 107-109 cm·Hz1/2/W y resistencias eléctricas del orden de 1 MΩ. | |
| Instituto Nacional de Astrofísica, Óptica y Electrónica | |
| 2013-02 | |
| Tesis de maestría | |
| Español | |
| Estudiantes Investigadores Público en general | |
| Jimenez-Zavala R. | |
| ELECTRÓNICA | |
| Versión aceptada | |
| acceptedVersion - Versión aceptada | |
| Aparece en las colecciones: | Maestría en Electrónica |
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