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http://inaoe.repositorioinstitucional.mx/jspui/handle/1009/436| Desarrollo y caracterización de microestructuras Joule con poly-silicio | |
| FERNANDO JULIAN QUIÑONES NOVELO | |
| WILFRIDO CALLEJA ARRIAGA | |
| Acceso Abierto | |
| Atribución-NoComercial-SinDerivadas | |
| Microactuactors Electrothermal Joule-Thomson effect | |
| In recent years, the INAOE Microelectronics Laboratory has been developing a manufacturing process called micro-PolyMEMS INAOE. This project has been designed to manufacture sensors and actuators using mainly the technique of surface micromachining with polysilicon. In this context, the INAOE has developed several of manufacturing stages of designed microstructures to ensure, in the medium term, possible innovations in manufacturing technologies, Micro Electro Mechanical Systems (MEMS, for its initials in English).
Currently, the most of microelectromechanical systems (MEMS) include microactuators, which generate propulsive forces and displacements for various types of applications in microsystems. The microactuators have been developed in a wide variety of forms, and its operation is based on various physical effects. Generally physical effects used are: magnetostatic, electrostatic, piezoelectric and electro-thermal. The microactuators based on the Electro-thermal effect have attracted more attention because they produce significant forces and displacements with low applied voltages, compared with its size.
In this context, this thesis, is focused on developing and manufacturing of microstructures based on polysilicon, to work as microactuators. The microactuators are developed with a technology based on the call: Effect Joule.
Moreover, it also shows the design of the V Chip PolyMEMS that serves as a platform for characterizing microactuators, as well as develop a new procedure for successfully release suspended structures. En los años recientes, en el Laboratorio de Microelectrónica del INAOE se adquirió el compromiso de desarrollar un proceso de fabricación de microcomponentes denominado PolyMEMS INAOE. En este proyecto se tiene el propósito de fabricar sensores y actuadores utilizando principalmente la técnica de micromaquinado superficial con polisilicio. En este contexto, en el INAOE se han desarrollado diversas etapas de fabricación de microestructuras a mediano plazo tendientes a innovar la tecnología de fabricación de Sistemas Micro Electro Mecánicos (MEMS, por sus siglas en ingles). En la actualidad, en la mayoría de los Sistemas MicroElectroMecánicos (MEMS) se incluyen microactuadores, los cuales generan fuerzas de propulsión o desplazamientos para diversos tipos de aplicaciones en microsistemas. Los microactuadores, han sido desarrollados en una amplia variedad de formas, y su funcionamiento se basa en diversos efectos físicos. Los efectos físicos más comunes que se utilizan son: Magnetostático, Electrostático, Piezoeléctrico y Electro-térmico. Entre ellos, los microactuadores que se basan en el efecto Electro-térmico, han atraído más la atención porque producen fuerzas y desplazamientos significativos con voltajes bajos, en comparación con su tamaño. En este contexto, surge la decisión de formular la presente tesis, que está enfocada a desarrollar y fabricar microestructuras a base de polisilicio, que funcionen como microactuadores. Los microactuadores son desarrollados con una tecnología basada en el llamado: Efecto Joule. Por otra parte, se presenta también el diseño del Chip PolyMEMS V que sirve como plataforma para caracterizar los microactuadores, así como también, un procedimiento de liberación para obtener exitosamente micro estructuras suspendidas. | |
| Instituto Nacional de Astrofísica, Óptica y Electrónica | |
| 2009-11 | |
| Tesis de maestría | |
| Español | |
| Estudiantes Investigadores Público en general | |
| Quiñones-Novelo F.J. | |
| ELECTRÓNICA | |
| Versión aceptada | |
| acceptedVersion - Versión aceptada | |
| Aparece en las colecciones: | Maestría en Electrónica |
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