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http://inaoe.repositorioinstitucional.mx/jspui/handle/1009/501| Fabricación y caracterización de estructuras capacitivas para monitorear presión | |
| DANIELA DIAZ ALONSO | |
| WILFRIDO CALLEJA ARRIAGA | |
| Acceso Abierto | |
| Atribución-NoComercial-SinDerivadas | |
| Capacitive pressure sensor Micromechanical device Intraocular pressure | |
| In the last years, at the INAOE Microelectronics Laboratory have been developed different stages from manufacture of microstructures for the innovation in Microelectromechanical Systems from the technology PolyMEMS INAOE. Combining Surface micromachining and Polysilicon as structural material, it is possible to boost development of the national electronic industry, in the manufacture of sensors and actuators that facilitate their integration with integrated circuits for diverse applications.
At present, the main interest in the development of MEMS devices is not only in its capacity of adaptation in industrial applications, but also in the possibility of offering solutions to biomedical problems, such as, biological tests, medical diagnoses, providing drugs, as a stimulating neuromuscular, among others BioMEMS.
The present thesis work arises from the necessity to offer a solution to the problem of the Glaucoma, this disease is associated essentially to an increase in the intraocular pressure that causes a progressive injury to the optical nerve, and consequently it causes blindness. In this context, this thesis is focused on to design, to manufacture and to characterize capacitive structures to measure pressure and to determine the effects of the glaucoma. En los últimos años, en el Laboratorio de Microelectrónica del INAOE se han desarrollado diferentes etapas de fabricación de microestructuras para la innovación en Sistemas Microelectromecánicos a partir de la tecnología PolyMEMS INAOE. Combinando técnicas de micromaquinado superficial y al Polisilicio como material estructural, es posible impulsar el desarrollo de la industria electrónica nacional, en la fabricación de sensores y actuadores que faciliten su integración con circuitos integrados para diversas aplicaciones. En la actualidad, el principal interés en el desarrollo de dispositivos MEMS radica no solo en su capacidad de adaptación en aplicaciones industriales, sino también en la posibilidad de proponer soluciones a problemas biomédicos, tales como, análisis biológicos, realizar diagnósticos médicos, suministrar fármacos, como estimuladores neuromusculares, entre otros BioMEMS. El presente trabajo de tesis surge de la necesidad de ofrecer una solución al problema del Glaucoma, esta enfermedad se asocia fundamentalmente a un aumento en la presión intraocular que causa una lesión progresiva al nervio óptico, como consecuencia se tiene una perdida de visión. En este contexto, se propone diseñar, fabricar y caracterizar estructuras capacitivas para monitorear presión y determinar los efectos del glaucoma. El contenido temático de tesis se divide en cuatro capítulos que se describen a continuación: En el capitulo 1 se presenta una breve introducción sobre MEMS y su uso en aplicaciones médicas, derivando así, en la revisión de las características mas relevantes de consideración en el diseño de un sensor de presión, además se describen las características básicas del Glaucoma. En el capitulo 2 se detallan los aspectos mas importantes respecto al diseño de las estructuras capacitivas del chip CPS-DDA, asimismo se describe el proceso de fabricación, resaltando los resultados experimentales obtenidos en procesos preliminares que arrojaron las etapas mas criticas involucradas en dicho proceso. En el capítulo 3 se realiza la revisión a los Monitores de esfuerzos Mecánicos, diseñados para el análisis de las propiedades mecánicas del Polisilicio, además se presenta el diseño del chip PolyMEMS V-B, desarrollado en colaboración con el M.C Fernando Quiñones N. | |
| Instituto Nacional de Astrofísica, Óptica y Electrónica | |
| 2010-11 | |
| Tesis de maestría | |
| Español | |
| Estudiantes Investigadores Público en general | |
| Diaz-Alonso D. | |
| ELECTRÓNICA | |
| Versión aceptada | |
| acceptedVersion - Versión aceptada | |
| Aparece en las colecciones: | Maestría en Electrónica |
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