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Estudio experimental de ruido en películas termosensor basadas en siliciogermanio depositadas por plasma con aplicación en microbolómetros
ISMAEL COSME BOLAÑOS
ANDREY KOSAREV
Acceso Abierto
Atribución-NoComercial-SinDerivadas
Noise measurement
Bolometers
Infrared detectors
Actualmente existen sistemas infrarrojos para diversas aplicaciones en diferentes campos. Algunas de estas aplicaciones se encuentran en los campos de la milicia, seguridad, medicina, mantenimiento preventivo y visión nocturna. Una parte importante de estas aplicaciones está basada en la detección de la radiación infrarroja. Por esta razón actualmente existe un gran interés en el desarrollo de detectores infrarrojos que cumplan las necesidades requeridas con un bajo costo y un alto desempeño. El reciente interés en materiales amorfos con aplicaciones de películas termo sensor en microbolómetros ha surgido gracias a los altos valores de coeficiente térmico de resistencia (TCR) que presentan este tipo de materiales. Este último parámetro se traduce en un alto desempeño de los dispositivos de detección infrarroja. Sin embargo, no es el único parámetro a considerar en el dispositivo. Otro parámetro que quizá tenga igual o mayor importancia es la detectividad específica. La detectividad específica es el parámetro que describe el desempeño de un detector infrarrojo y relaciona su responsividad con el ruido presente en el dispositivo. Este parámetro permite comparar los diferentes tipos de microbolómetros. En el INAOE se han desarrollado microbolómetros con películas termo sensor basadas en SiGe depositadas por la técnica de depósito asistido por plasma (PECVD). Estos microbolómetros presentan un gran desempeño debido a que sus películas termo sensor cuentan con un alto TCR y por lo tanto una alta responsividad. Sin embargo, no se había realizado un estudio profundo de ruido en los dispositivos desarrollados. Este trabajo de investigación tiene tres direcciones principales. La primera es el desarrollo de una metodología de medición de ruido en materiales termo sensores y microbolómetros. La segunda tarea es el estudio de ruido intrínseco en películas termo sensor basadas en SiGe, incluyendo efectos de temperatura y polarización. Y por último el estudio de ruido en microbolómetros basados en SiGe y obtención de valores de detectividad que permitan compararlos con otros microbolómetros reportados en literatura. Durante este trabajo se desarrolló una metodología de medición de ruido. Esto debido al escasa información en el estado del arte sobre metodologías de medición de ruido en materiales amorfos.
Instituto Nacional de Astrofísica, Óptica y Electrónica
2008-10
Tesis de maestría
Español
Estudiantes
Investigadores
Público en general
Cosme-Bolaños I.
ELECTRÓNICA
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