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Proceso de fabricación de superficies selectivas de frecuencia
VICTOR HUGO GOMEZ RIVERA
MIGUEL VELAZQUEZ DE LA ROSA BECERRA
JOEL MOLINA REYES
Acceso Abierto
Atribución-NoComercial-SinDerivadas
El principal objetivo de este reporte técnico es obtener la receta de fabricación de superficies selectivas de frecuencia sobre membranas de nitruro de silicio para facilitar el proceso de fabricación a la comunidad científica o estudiantil que desee implementarlo. La importancia de obtener recetas del proceso de fabricación es facilitar los datos y los pasos a seguir con condiciones especificas de fabricación en cada etapa, esto ahorra en tiempo y recursos sobre la caracterización de cada proceso. En este reporte se ilustra la forma de obtener membranas de nitruro de silicio (Si3N4) para ser utilizadas como soporte mecánico para superficies selectivas de frecuencia, que en principio funciona como filtros dicroicos y que en un futuro se utilizarán como absorbedores de radiación electrómagnetica para bolómetros del tipo TES.
Instituto Nacional de Astrofísica, Óptica y Electrónica
2012-06
Reporte
Español
Estudiantes
Investigadores
Público en general
ELECTRÓNICA
Versión aceptada
acceptedVersion - Versión aceptada
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