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Autor(es)
Fecha de depósito
2010
Proceso de grabado seco de silicio monocristalino para aplicaciones en guías de onda coplanares
Artículo
REBECA LEAL ROMERO
;
IGNACIO ENRIQUE ZALDIVAR HUERTA
;
J. Apolinar Reynoso Hernández
;
CLAUDIA REYES BETANZO
;
María del Carmen Maya Sánchez
;
MARIANO ACEVES MIJARES
12-nov-2018
Otras opciones relacionadas
Autor
1
CLAUDIA REYES BETANZO
Materia
1
Mono-crystalline silicon