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Fecha de publicación	Título	Tipo de publicación/ Tipo de recurso	Autor(es)	Fecha de depósito
ene-2008	Caracterización de procesos de grabado seco de materiales para la fabricación de dispositivos CMOS	Tesis de maestría	FERNANDO CASTILLO HERNANDEZ	20-sep-2017
feb-2007	Micromaquinado de silicio monocristalino mediante grabado seco	Tesis de maestría	CARLOS ALVAREZ MACIAS	5-oct-2017