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Fecha de publicación	Título	Tipo de publicación/ Tipo de recurso	Autor(es)	Fecha de depósito
2010	Proceso de grabado seco de silicio monocristalino para aplicaciones en guías de onda coplanares	Artículo	REBECA LEAL ROMERO; IGNACIO ENRIQUE ZALDIVAR HUERTA; J. APOLINAR REYNOSO HERNANDEZ; CLAUDIA REYES BETANZO	20-sep-2018